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高效太阳能电池薄膜生长工艺优化模型的研究及其意义 被引量：2

A study on growth law and optimazation process model of thin film growth for solar cells
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摘要 薄膜化是降低太阳电池成本的主要手段和发展趋势,薄膜生长设备研制与通用设备的最大区别就是要与生产工艺密切配合。本文提出一种用于太阳能薄膜生长的工艺建模新方法,将计算智能技术与分形理论综合集成,利用计算智能方法提供的混合智能系统及分形理论的数学工具进行系统描述,建立薄膜生长复杂过程的基本模型,以得到生长过程参数与薄膜宏观性能之间的定量解析关系。
作者 李桂琴 陆利新 叶晓军 李红波 夏士伟
机构地区 上海大学机自学院 上海空间电源研究所 上海欣邦电气有限公司
出处 《制造业自动化》 北大核心 2011年第5期43-46,共4页 Manufacturing Automation
基金 上海市重大科技攻关项目(10DZ1204500) 上海市重点学科建设项目(Y0102)
关键词 薄膜生长 工艺建模 分形理论 计算智能 集成
分类号 TP399 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
  • 相关文献

参考文献29

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引证文献2

二级引证文献4

制造业自动化
2011年 第5期

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