划片中湿度对管芯电特性的影响

硅片经过划片工艺后被分离为成千上万只独立管芯,在实际生产中器件的反向电特性异常,出现了反向漏电流向上漂移现象,通过试验采用低温烘焙得到了电特性合格的管芯。分析了在相对湿度偏大的生产环境中,容易使管芯表面吸潮引起反向漏电流增大,而使管芯电特性失效。