用于大尺寸光学元件的透射和反射膜层

对于宽孔径的短波长ArF和KrF激光器来说,制作尺寸200mm和更大的大尺寸窗口牢固的透射和反射膜层问题是一个重要问题。这样一些激光器是目前最强的紫外辐射源,这样的光源是激光热合成系统有前途的激光器和亚微微秒激光脉冲的高功率放大器。与此有关,我们研究了在尺寸为350mm以内的光学元件上获得牢固膜层的可能性。