摘要
介绍了 Ｇａ Ｎ 器件制备的关键技术以及 Ｇａ Ｎ 半导体在微电子和光电子领域的研究进展情况。
In this paper,the key technologies for GaN materials and devices are reviewed.The progress of GaN semiconductor in microelectronics and optoelectronics is presented.
出处
《半导体情报》
1999年第4期10-14,34,共6页
Semiconductor Information
关键词
氮化镓
光电子
微电子
宽带隙半导体
GaN Optoelectronics Microelectronics Wide bandgap semiconductor
