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金刚石-铜复合薄膜热沉基底 被引量:2

Diamond\|Copper Bilayer Films as Heat Sinks
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摘要 本文介绍用CVD法在铜的基底上合成金刚石薄膜,并获得金刚石-铜复合材料的方法,测量了金钢石-铜复合薄膜电阻与温度的关系.得到了类金刚石薄膜的能隙宽度为0.7~2.5eV,多晶金刚石薄膜的禁带宽度为2.6~3.1eV。 The diamond film on copper substrate is obtained by CVD\|method.The relationship between the electric resistance of diamond\|copper composite film and the temperature has been researched.The band gap of the diamond like film varies from 0 7eV to 2 5eV.That of polycrystalline diamond film is in the range of 2 6~3 1eV.The thermal conductivity of diamond\|copper bilayer materials is twice as big as that of pure copper.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期823-826,共4页 半导体学报(英文版)
  • 相关文献

参考文献7

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二级参考文献4

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共引文献10

同被引文献39

引证文献2

二级引证文献32

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