加快我国半导体设备工业的发展
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1莫大康.全球半导体设备工业的崎岖之路[J].集成电路应用,2005,22(1):5-7.
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2北美半导体设备工业04年公布B/B达1.14[J].中国集成电路,2004(6):13-13.
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3莫大康.半导体设备工业的变迁[J].电子工业专用设备,2004,33(9):3-4.
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4全球半导体设备业“晴间多云”[J].电子工业专用设备,2006,35(4):16-17.
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5王勃华.发展中的中国半导体设备工业[J].中国集成电路,2002,0(3):50-53. 被引量:1
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6莫大康.2002年的全球半导体设备工业[J].集成电路应用,2003,20(6):66-68. 被引量:1
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