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安智电子材料携手IBM创新半导体制程

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摘要 安智(AZ)电子材料将与IBM—Almaden研究中心的材料研发团队共同开发一种以块状聚合物为基础的材料,可以应用在与传统的微影及半导体制程设备相容的定向白组装(DirectedSelf-Assembly,DSA)制程。市场预估应用奈米技术的产品到2015年将达到2.41兆美元的规模,因此降低半导体制造成本,改善元件性能是必要的。
出处 《中国集成电路》 2011年第3期4-4,共1页 China lntegrated Circuit
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