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大连圣迈7N系列超纯气体纯化装置

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摘要 大连圣迈化学有限公司主要致力于高纯氮、氢、氩、氧、氩、氦、乙烯、丙烯等气体公司的气体终端纯化;电子材料气,MOCVD,半导体和LCD等气体纯化系统;高纯气体供应设施的安装和建造;超纯气体纯化装置;变压吸附装置。
出处 《中国集成电路》 2011年第3期75-75,共1页 China lntegrated Circuit
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