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格兰达GM90激光打标机

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摘要 GM90激光打标机是一台对微小芯片高精度定位的激光打印设备。GM90激光打标机采用国际上先进的激光和视觉定位系统,能满足对文宁中心位置+/-0.02mm的定位精度,位置重复精度+/-0.01mm的高精度要求。
出处 《中国集成电路》 2011年第3期76-76,共1页 China lntegrated Circuit
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