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摘要 SEMICON China 2011——EVG推出EVG620HBL HB-LED全自动光刻系统EVG（Semicon China 2011,Booth 3101）为大批量制造高亮度发光二极管（HB-LED）、复合半导体及动力电子设备,推出了EVG620HBL——全自动光刻机系统。

出处《电子工业专用设备》 2011年第3期54-54,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词高亮度发光二极管 SEMICON HB-LED 光刻系统 BOOTH 复合半导体批量制造电子设备

分类号 TN312.8 [电子电信—物理电子学]

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电子工业专用设备

2011年第3期

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