摘要
采用蒙特卡罗模拟对氮气辉光放电等离子体阴极鞘层内离子（ Ｎ２ ＋ ， Ｎ＋ ） 和快中性分子（ Ｎ２ｆ） 的输运过程进行了研究，计算了阴极鞘层中离子（ Ｎ２ ＋ ， Ｎ＋ ） 和快中性分子的能量及角分布的空间变化，较好地解释了实验结果．得到了氮气辉光放电等离子体阴极附近主要存在着能量较低的荷能分子、密度较低的高能原子离子及密度和能量居中的分子离子．诸粒子状态随放电条件而变化．模拟结果为分子气体辉光放电等离子体过程的机理的认识提供了参考依据．
The ions(N\-2\++,N\++) and fast nitrogen molecular (N 2f ) transport process in cathode sheath of nitrogen glow discharge plasma is studied by using Monte Carlo simulation. Spatial variation of energy distribution and angular distribution are simulated for ions(N\-2\++,N\++) and fast molecules (N 2f ) in cathode sheath, their variation behavior are investigated, and the results are compared with the results of experiment. PACC: 5240K; 5265; 5280
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第9期1701-1708,共8页
Acta Physica Sinica
基金
河北省自然科学基金
