摘要
由稳态 时粒子数和电 流连续性方程 及带 电粒 子的 能量 平衡 方程, 建立 了α型 平板 R F 放电等离子体的 理论模型,并用数 值方法 求得 射频 放电 等离 子体 中粒子 数密 度、电场、功率 密 度、激 发效率的空间分 布,解释了 R F 放电的 辉纹结构,分析了 放电参数对放
A theoretical model to describe the discharges in the RF excited planar CO\-2 lasers is established.The spatial distributions of electron density,electric field,power density and the excitation efficiency for the upper laser level are obtained by numerical method.The discharge striations in RF excited lasers observed by experiments are explained.The relations between parameters and characters of the discharge are analyzed.
出处
《计算物理》
CSCD
北大核心
1999年第5期536-542,共7页
Chinese Journal of Computational Physics
基金
激光技术国家重点实验室资助