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国内首台自动光学检测设备研制成功
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摘要
日前,由中国电子科技集团第45所承担的国际科技合作项目“自动光学检测(AOI)设备技术合作”,通过了国家级验收,技术指标达到了国外同类设备水平,标志着自动光学检测(AOI)设备实现了国产化,填补了国内空白。
出处
《自动化博览》
2011年第3期5-5,共1页
Automation Panorama1
关键词
光学检测设备
国内空白
自动光学检测
科技合作项目
技术合作
电子科技
技术指标
国家级
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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7
周茜渊,邹海兴.
超大规模集成电路制造中光学检测设备的最新发展[J]
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