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FMCS系统在集成电路工厂中的应用
被引量:
3
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摘要
根据集成电路工厂工艺的要求,综合应用了基于工业现场总线技术的监控管理系统,详细介绍系统网络的构架、硬件配置、控制层次、控制功能要求。该控制系统保证了工厂运行的可靠性和实时性,提高了自动化水平和管理水平。
作者
姚虹
机构地区
信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
出处
《中国西部科技》
2011年第9期16-17,共2页
Science and Technology of West China
关键词
FMCS系统
控制
应用
分类号
TP27 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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中国西部科技
2011年 第9期
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