FMCS系统在集成电路工厂中的应用

根据集成电路工厂工艺的要求,综合应用了基于工业现场总线技术的监控管理系统,详细介绍系统网络的构架、硬件配置、控制层次、控制功能要求。该控制系统保证了工厂运行的可靠性和实时性,提高了自动化水平和管理水平。