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浅谈物理学中阴影莫尔测试方法的原理

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摘要 随着时代的发展,集成电路成为势不可挡的发展趋势。检测问题被越来越多的人关注,传统的光学机械测量方法已经不能适应现代要求。本文在论述莫尔测量原理的基础上,通过参量法总结莫尔轮廓测量法,并在实际操作中加以说明。
作者 张月英
出处 《中国校外教育(中旬)》 2011年第3期30-30,共1页
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