EVG620HBL：自动光刻系统

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摘要 EVG推出EVG620HBL全自动光刻系统，以EVG光刻机平台为基础，旨在优化高亮度发光二极管（HB—LED）、复合半导体和动力电子设备的生产制造。EVG620HBL增加了—个高强度紫外线光源和五个向盒装卸台，可以不间断地制造设备。因此，EVG620HBL全自动光刻系统的产量增加，

出处《世界电子元器件》 2011年第4期37-37,共1页 Global Electronics China

关键词光刻系统高亮度发光二极管复合半导体紫外线光源生产制造电子设备制造设备全自动

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世界电子元器件

2011年第4期

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