等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺尾气危害性解析被引量：1

The Analysis of Process Exhaust Hazardness from Plasma Enforced Chemical Vapor Deposition(PECVD)

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摘要简要介绍了PECVD设备工艺尾气危害性及防护措施。 The hazardness and protective means for process exhaust form PECVD was explained.

作者廖雪江

机构地区深圳奥意建筑工程设计有限公司

出处《洁净与空调技术》 2011年第1期1-3,共3页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology

关键词 PECVD 工艺尾气危害性防护措施 PECVD Process exhaust Hazardness Protective means

分类号 X701 [环境科学与工程—环境工程]

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洁净与空调技术

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