长度计量基础知识讲座(二十七) 第二十七讲 接触式干涉仪

第二十七讲 接触式干涉仪 1概述 接触式干涉仪（以下简称干涉仪）是应用光波干涉原理，采用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器。干涉仪由前苏联计量仪器专家乌威尔斯基设计并制造，因此通常称为乌氏干涉仪。干涉仪主要用于检定尺寸小于150mm的3等及以下量块的尺寸，也可以对其他高精度零件进行精密测量或作高精度测量的定位。