超精密机床自平衡充气式隔振技术

外界振动是影响超精密加工精度的主要因素，进行机床有效的隔振是解决问题的关键。这里对超精密加工中的隔振技术进行了研究，提出了一种有效的隔振方法：自平衡充气式隔振技术。阐述了其结构和隔振原理。