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电阻器激光刻螺线槽槽纹质量分析 被引量:1

Stady on the Quality of Resistance Spiral Notch Grains Engraved by Laser
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摘要 本文从评价圆柱状金属膜电阻器激光刻螺线槽槽纹质量, 分析槽纹误差产生的原因, In this paper, the quality of the spiral notch grains for cylindrical metal-film resistance engraved by laser are described. The cause of producing the notch grains error, the influencing factors and means to reduce the errors are analyzed.
出处 《光电子技术与信息》 1999年第5期16-19,39,共5页 Optoelectronic Technology & Information
关键词 金属膜电阻器 激光刻槽 槽纹质量 metal-film resistance, laser engrave notch, quality of notch grains
  • 相关文献

参考文献2

共引文献2

同被引文献4

  • 1G.W.A杜.固定电阻器[M].国防工业出版社.1959.
  • 2王力蘅.薄膜技术[M].清华大学出版社.1991.
  • 3M.M涅克拉索夫等.无线电电子元件试验方法[M].电子工业出版社.1987.
  • 4秦跃利,高能武,吴云海.改进工艺提高薄膜附着力[J].电子元件与材料,2000,19(1):26-27. 被引量:3

引证文献1

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