真空镀金属膜厚度及光学常数的测量被引量：3

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摘要本文提出用迈克尔逊干涉仪测量真空蒸发镀金属膜层厚度和光学常数的方法。并从实际中测定了镀得的铝膜厚度及光学常数，对结果进行了分析。

作者苏文礼

出处《计量与测试技术》 1999年第6期28-28,29,共2页 Metrology & Measurement Technique

关键词真空镀膜金属膜厚度光学常数迈克尔逊干涉仪

同被引文献21

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计量与测试技术

1999年第6期

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