真空镀金属膜厚度及光学常数的测量被引量：3

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摘要本文提出用迈克尔逊干涉仪测量真空蒸发镀金属膜层厚度和光学常数的方法。并从实际中测定了镀得的铝膜厚度及光学常数，对结果进行了分析。

作者苏文礼

出处《计量与测试技术》 1999年第6期28-28,29,共2页 Metrology & Measurement Technique

关键词真空镀膜金属膜厚度光学常数迈克尔逊干涉仪

同被引文献21

1贺江平,刘静,S.L.Bashenov,A.L.Volynskii.在拉伸Al/PET复合体系条件下涂层Al的破坏规律和机理[J].材料科学与工程学报,2004,22(5):709-712. 被引量：1
2林渊智.PVC-T型镀铝膜的研制[J].塑料包装,2004,14(3):33-35. 被引量：2
3江谷.真空镀铝CPP薄膜的生产和应用[J].现代塑料加工应用,1994,6(4):47-49. 被引量：3
4刘崇进,沈家瑞,李凤仙.椭偏仪测量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究[J].光学技术,1995,21(3):18-20. 被引量：6
5（日）金源·粲王力衡译.薄膜[M].北京:电子工业出版社,1988.105,150,263,193,35.
6Culler Gregory D, Nottingham. Infra-red Reflective Coverings:USP, 5955175[P]. 1999.
7Davisson C, Weeks J R. The Relation between the Total Thermal Emissive Power of a Metal and Its Electrical Resistivity[J]. J Opt Soc Am, 1924,(8):581-605.
8Parker W J, Abbott G L. Theoretical and Experimental Studies of the Total Emittance of Metals, in Symposium on Thermal Radiation of Solids, S. Katzoff, Ed[R]. U S Govemment Printing Office, Washington, D C, 1965, NASA SP- 55.
9Rarnanathan K G, Yen S H. High-temperature Emissivities of Copper, Aluminum and Silver[J]. Opt Soc Am, 1977,67(1):32-38.
10Estalote E A, Rarnanathan G. Low-temperature Emissivities of Copper and Aluminum [J]. Opt Soc Am, 1977,67(1) :39-43.

1刘雄英,黄光周,于继荣.实时光学薄膜膜厚监控系统研究[J].真空科学与技术学报,2005,25(4):306-308. 被引量：8
2杨栋华,欧信兵,张津.超细晶／纳米晶铝膜的研究现状[J].材料导报,2007,21(10):109-112. 被引量：1
3赵双琦,刘桂礼,李东,刘刚.石英晶片镀膜频率监控技术研究[J].真空科学与技术学报,2008,28(5):437-440. 被引量：3
4阳轩野.超声电沉积铜叠层膜[J].中国新技术新产品,2011(16):150-151.
5杜学东,王红.薄膜测量的椭偏仪法[J].唐山师范学院学报,2002,24(5):67-68. 被引量：2
6王田宇,卞进田,李欣,孔辉,孙晓泉.激光诱导表面周期性结构对铜薄膜红外发射特性的改变[J].中国激光,2021,48(4):264-271. 被引量：4
7常天海.一种确定基片架最佳沉积区域的试验方法[J].真空与低温,2003,9(4):217-220.
8许丕池,姜德生,余海湖,李小甫,李鸿辉.SiO_2溶胶及其静电自组装薄膜的制备[J].Chinese Journal of Chemical Physics,2004,17(2):165-170. 被引量：6
9占美琼,张东平,杨健贺,洪波,邵建达,范正修.石英晶体振荡法监控膜厚研究[J].光子学报,2004,33(5):585-588. 被引量：20

计量与测试技术

1999年第6期

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