真空灭弧室并联电容老炼的试验研究

真空灭弧室在排气台上的老炼是提高真空间隙的耐压水平的重要手段。目前在生产过程中我们一般是将电流和是 老炼分两步进行，这样生产效率相对较低。基于对目前真空灭弧室的电压，电流老炼工艺参数及其晰分析研究，我们提出了在灭弧室上并联电容春进行老炼，目的是提高灭弧在电压老炼后的击穿电场强度，适当地电压老炼的工艺过程，提高生产效率及产品的质量，降低生产成本。