Qcept为亚洲主要晶圆厂提供NVD检测方案

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摘要 Qcept Technologies公酬日前宣布，已经有两家位于亚洲的大型半导体制造商，采用了Qcept的ChemetriQ5000非光学可视性缺陷（NVD）检测系统。不论是提供有无图案化（pattern）的品圆，ChemetriQ5000都能检测出NVD，因此可用于广泛的工具与在线检测应用，以提高良率学习的速度。

出处《电子质量》 2011年第4期55-55,共1页 Electronics Quality

关键词检测系统 NVD 亚洲晶圆半导体制造商检测应用可视性图案化

分类号 TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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