摘要
0 前言
在二十世纪90年代早期,汽车安全气囊系统就开始大量采用MEMS加速度计。在其后的十年中,MEMS技术的第二次应用浪潮被掀起。期间,MEMS技术被大量应用,产品种类逐渐增多,相关技术被应用到各行各业。第二代技术和产品取代了前者,并很快成为主流。据统计,汽车传感器市场在2009年规模就达到了25亿美元。2004至2009年间,全球汽车传感器市场的年复合增长率已经达到了9%左右。而今,第三次MEMS应用浪潮正在逼近,越来越多的MEMS加速度计和陀螺仪将被用于更多更新的技术领域。
出处
《自动化信息》
2010年第10期79-80,共2页
Automation Information