摘要
硅烷（SiH4）再循环方法公开
（公告）号：101959794A
公开（公告）日：2011-01-26
申请（专利权）人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
摘要：本发明涉及一种硅烷再循环方法,其包括如下连续步骤：a.将纯硅烷/纯氢气（SiH4/H2）混合物注入反应室中以制造含硅薄层;b.借助使用送料气的泵抽取包含步骤a中未使用的过量硅烷和氢气的混合物（SiH4/H2）;
出处
《低温与特气》
CAS
2011年第2期54-54,共1页
Low Temperature and Specialty Gases
