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晶片加工设备五年预测

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摘要 在去年(1988)的这个时候,设备制造业从低谷中走出,出现了好的增长势头,设备投资超过了去年1月份所预计的预算。在1987年几乎上升了17%,预计1988年会上升到35%(图1)。
作者 潘肖群
出处 《微电子学》 CAS CSCD 1990年第4期33-37,72,共6页 Microelectronics
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