摘要
文章介绍了一个适用于工业化大生产、功能齐全、使用方便、低成本的集成电路计算机辅助制造系统ＸＨＣＡＭ。
This paper introduces a computer aided manufacturing system for integrated circuit, named XHCAM, sharing such attributions as applying for great yield, completed functions, easy use, and low cost
出处
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
1999年第5期38-41,共4页
Microelectronics & Computer
基金
"九五"国家攻关项目
