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金刚石薄膜合成技术 被引量：2

Synthesis of Diamond Thin Films
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摘要 作者对金刚石薄膜气相合成的历史，金刚石薄膜的沉积方法以及金刚石薄膜沉积技术的发展方向和应用前景进行了论述。 This paper describes the history and advancement of synthesizing diamond thin films,and also summerizes its advacing direction and application prospect.
作者 向军 饶丽
机构地区 四川工业学院材料科学与工程系
出处 《四川工业学院学报》 1999年第3期47-52,共6页 Journal of Sichuan University of Science and Technology
关键词 金刚石薄膜 气相沉积 合成 HFCVD diamond thin film vapor deposit
分类号 O484.1 [理学—固体物理] TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献1

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共引文献2

同被引文献13

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引证文献2

二级引证文献4

四川工业学院学报
1999年 第3期

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