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光学面形检测仪

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摘要 该仪器采用相移式横向剪切干涉技术,是一种数字波面测试技术.其原理是将相干两个剪切波面中的一个波面作阶梯式或连续变化,从而使干涉场中的干涉条纹作阶梯式或连续式扫描.
作者 苗静
出处 《西安工业大学学报》 CAS 2011年第2期198-198,共1页 Journal of Xi’an Technological University
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