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CVD金刚石厚膜的制备及厚膜刀具制造技术 被引量:5

Synthesis of CVD Thick Diamond Films and Manufacturing Technology of Thick Diamond Film Tools
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摘要 分析了沉积参数对合成金刚石厚膜质量的影响,提出了采用燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的合理参数,介绍了金刚石厚膜的激光切割、焊接及刃磨加工特性。 The effect of deposition parameters on the quality of thick diamond films is analyzed, and optimal parameters for depositing high quality diamond films by the combusting flame method are proposed. The properties of laser machining, welding and grinding of diamond films are introduced.
出处 《工具技术》 北大核心 1999年第11期8-10,共3页 Tool Engineering
关键词 金刚石厚膜 切削 刀具 CVD 制备 thick diamond film cutting tool CVD
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引证文献5

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