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高衍射效率全息光栅的制作与复制工艺研究 被引量:7

The Fabrication and Replication of Holographic Grating with High Diffraction Efficiency
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摘要 本文根据正性光致抗蚀的感光显影特性,推导出了全息光栅沟槽深度公式,分析了影响光栅糟型结构的因素,建立了光栅沟槽模型。并根据论理论制作出了衍射效率高达65%的 2400线/毫米的全息平面反射光栅。本文还介绍了全息光栅复制技术,解决了高质量光栅昂贵的生产成本和大批量生产问题。 In this paper a groove-depth formula of holographic grating is derived according to the exposure and development characteristics of positive photoresist, then the typical shapes of groove are discussed. Using this theory a 2400lines/mm reflecting plane holographic grating, whose diffraction efficiency in the UV region is about 65% was fabricated, and the replica of some holographic gratings, is made by the replication technology of grating.
出处 《现代科学仪器》 1999年第5期46-48,共3页 Modern Scientific Instruments
关键词 正性光致抗蚀剂 光栅沟槽 衍射效率 光栅复制 Positive photoresist Groove profile of grating diffraction efficiency Replication of grating.
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