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金刚石半导体的研制动向 被引量:2

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摘要 金刚石是最硬的物质,被应用在磨削工具、切削工具或耐磨损工具上。但是,金刚石除了硬之外,还有其它一些有用的特性,对这些特性的应用在最近几年已受到人们的关注。金刚石至少具有硬度和热传导率两项最高特性,象这样具有两项以上最高特性的物质,金刚石几乎是唯一的一种。
出处 《微细加工技术》 1990年第2期46-50,共5页 Microfabrication Technology
关键词 金刚石 半导体
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