在大气中利用燃烧火焰合成金刚石被引量：1

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摘要气相合成金刚石的方法,可举出有热灯丝CVD法、微波等离子体CVD法、电子轰击CVD法(EACVD法)、直流等离子体CVD法、弧光放电等离子体CVD法、等离子体喷射CVD法等。这些合成法一般是用等离子体分解碳素源,并在还原性气氛中,生成原子态氢来合成金刚石的。原子态氢使得基团生成和金刚石的结合状态保持单键,并且对生长中产生的石墨、

作者广濑洋一天沼修二王景义

机构地区日本工学大学工学部电气电子工学科同大学大学院工学研究学科电气工学专业

出处《微细加工技术》 1990年第2期65-69,共5页 Microfabrication Technology

关键词金刚石合成燃烧火焰等离子体

分类号 TN304.18 [电子电信—物理电子学]

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微细加工技术

1990年第2期

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