硅表面缺陷对金刚石成核结膜的重要作用

本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷在金刚石成核结膜中的重要作用。