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热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性
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摘要
本文研究了热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性,在结晶过程中金刚石的(111)、(100)和(110)三个晶面经过激烈竞争后均有显露,通常情况下(111)和(100)二个晶面发育得较完整,相继显露的几率也最大。
作者
李胜华
张志明
李辉只
庄志诚
丁正明
机构地区
上海交通大学
出处
《微细加工技术》
1990年第2期19-21,共3页
Microfabrication Technology
基金
国家高科技和上海市自然科学基金
关键词
金刚石
热解
CVD法
薄膜
多晶
结晶
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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