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热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性

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摘要 本文研究了热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性,在结晶过程中金刚石的(111)、(100)和(110)三个晶面经过激烈竞争后均有显露,通常情况下(111)和(100)二个晶面发育得较完整,相继显露的几率也最大。
机构地区 上海交通大学
出处 《微细加工技术》 1990年第2期19-21,共3页 Microfabrication Technology
基金 国家高科技和上海市自然科学基金
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