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金刚石薄膜在热沉方面的应用 被引量:5

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摘要 众所周知,金刚石在所有物质中是热传导率最高的物质,故在工业中利用金刚石作为高温散热材料具有最好的性能。 随着电子器件的高密度化、大功率化、高速化等高功能化的发展,元件本身发热以及如何把产生的热量迅速向外发散等热的控制及构成材料的选择都将决定器件的性能。
出处 《微细加工技术》 1990年第2期107-112,共6页 Microfabrication Technology
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