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微波等离子体CVD法合成金刚石
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摘要
金刚石作为最昂贵的宝石,在女性中特别受到青睐。可是,把金刚石作为工业材料来看时,它就具有种种很高的利用价值和最佳的特性。比如,由于它是地球上最硬的物质的缘故,它作为切削加工的切削刃,被应用到各个方面。牙科医生使用的牙用钻头以及唱片针。
作者
胜又聪
风早富雄
坪川雅也
吴明华
机构地区
日
出处
《微细加工技术》
1990年第2期80-86,90,共8页
Microfabrication Technology
关键词
微波
等离子体
CVD法
合成
金刚石
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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微细加工技术
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