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JJG高精度均匀性监测仪
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摘要
本文叙述了在国产离子注入机中新研制的JJG高精度均匀性监测仪。阐述了该仪器的工作原理、技术特点及性能指标。
作者
陈毅功
周怡亲
机构地区
机械电子工业部第
厦门华侨电子有限公司
出处
《微细加工技术》
1990年第4期33-36,共4页
Microfabrication Technology
关键词
均匀性监测仪
离子注入机
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
引文网络
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微细加工技术
1990年 第4期
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