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电子产品中的静电防护

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摘要随着科学技术的发展，电子类设备生产企业中大量采用大规模集成电路。电子产品集成化迅速提高，超大规模集成电路大量生产和广泛应用，集成电路的内绝缘层越来越薄，其互连线与间距越来越小，相互击穿电压越来越低，器件尺寸的变小和芯片内部的氧化膜变薄，

作者刘璐

机构地区武汉大学电子信息学院

出处《电子世界》 2011年第5期27-28,共2页 Electronics World

关键词电子产品静电防护超大规模集成电路生产企业科学技术击穿电压器件尺寸电子类

分类号 TN06 [电子电信—物理电子学]

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