微细、平滑的金属线推进了电子产品的小型化

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摘要新加坡的A．Star材料研究和工程化研究所．（A．STAR Institute of Materials Research and Engineering），以下简称IMRE）、英国剑桥大学以及韩国的成均馆大学共同研发了超细、高集成度的连续金属线，可充分满足当前半导体工业的需求。一根线的宽度仅7nm，

作者黄文梅（摘译）

出处《现代材料动态》 2011年第4期5-5,共1页 Information of Advanced Materials

关键词金属线电子产品小型化英国剑桥大学微细平滑半导体工业 STAR

分类号 TN06 [电子电信—物理电子学]

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