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碳化硅表面双层碳膜制备取得新进展
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摘要
近日,中国科学院兰州化学物理研究所先进润滑与防护材料研究发展中心在四氯化碳气氛下碳化硅表面双层碳膜制备方面取得了新进展。
出处
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2011年第4期43-43,共1页
Materials China
关键词
膜制备
硅表面
中国科学院兰州化学物理研究所
碳化
四氯化碳
防护材料
气氛
分类号
TQ028.8 [化学工程]
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