摘要
全面总结了本研究所20年来独立自主完成的关于静电感应器件( S I D)的开拓性研究成果,包括 S I D 基本器件物理的理论研究,器件结构的研究,电性能的控制,关键制造技术的研究, S I D产品的研制以及 S I D
The pioneering achievements of our institute on SID research are summed up here. They are as follows:The theoretical studies on the physics of SID, the device structures,control of the electrical performance,the key manufacturing technologies,the development of new varieties of products of SID and partial applications of these SID, etc.
出处
《兰州大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期36-55,共20页
Journal of Lanzhou University(Natural Sciences)
基金
国家"八五"科技攻关项目
甘肃省"六五"
"八五"
"九五"科技攻关项目