基于CMOS工艺的射频集成电路ESD保护研究

随着工艺特征尺寸的缩小，射频集成电路承受的静电放电（ESD）问题日趋变得复杂。保护电路与被保护核心电路的相互影响，已经成为制约射频集成电路发展的一个障碍。本文主要研究CMOS工艺下，ESD保护电路与被保护核心电路之间的相互影响的作用机理，提出研究思路，并对射频集成电路ESD保护电路的通用器件作出评价。