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加速度计的发展 被引量:7

The Development of Accelerometers
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摘要 介绍了加速度计的发展概况,综述了硅电容、硅压阻、压电、厚膜应变、力平衡、电子隧道和热传导加速度计的结构、原理和发展趋势. The developing survey of the accelerometers is introduced. The structures, principles and developing trend of various types of accelerometers, i.e. silica capacitance, silica resistance, piezoresistance, thick film strain, force balance and electronic tunnel as well as heat conductance accelerometers, are described comprehensively.
作者 白韶红
出处 《自动化仪表》 CAS 北大核心 1999年第9期1-5,16,共6页 Process Automation Instrumentation
关键词 加速度计 发展概况 型式 结构 Accelerometer Developing survey Principle Type Structure
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