熔石英表面功能化处理技术研究进展

1采用反应等离子体处理获得了高阈值石英表面熔石英材料是高功率激光系统中的一种最重要的光学材料，特别是在紫外波段更是不可替代，这取决于SiO2在紫外激光下的优良特性，但在实际应用中，熔石英这种特性往往受到各种各样的限制，其中最大的局限就是石英玻璃的表面缺陷。石英元件在机械抛光过程中引入很多表面损伤。