用光学系统监控薄膜应力

在淀积薄膜时测量其应力,对于获取当今高性能器件所要求的光学、电子和机械特性是很重要的。控制应力的程度可能是个难题,然而制备过程的任何阶段都可能发生不理想的应力变化,这种应力变化却会导致性能降低、互连失灵以及薄膜脱层。