X射线源的真空蒸镀

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摘要本文利用超高真空蒸发镀膜技术对ｘ射线双阳极靶进行蒸镀，获得了良好性能的阳极靶．

作者齐上雪谢侃

机构地区中国科学院物理研究所

出处《物理》 CAS 北大核心 1990年第8期500-500,488,共2页 Physics

关键词蒸镀 X射线源真空蒸镀阳极靶

参考文献1

1刘凯,宋佳妮,王宇.大型屋脊棱镜工装夹具的设计[J].科技资讯,2014,12(36):44-44.
2张宝庆,史国权,石广丰,宋林森.机械刻划光栅多层复合铝薄膜微结构及力学性能分析[J].长春理工大学学报（自然科学版）,2012,35(4):76-80. 被引量：2
3钱龙生,吴宝申,叶祥云,金天峰,缪同群,朱秀芳,曹健林,郭恒元,卢昌义,袁幼心.非线性干涉滤光片(NLIF)研究的国内外发展状况[J].激光与红外,1991,21(5):22-24.
4高晓生,何英杰,王展.行星周转镀膜装置设计[J].真空科学与技术学报,2015,35(1):44-48. 被引量：2
5黄俊峰.能精调光学膜层的镀膜设备[J].光机电信息,2004(3):19-21.
6胡晓,赵全忠,姜雄伟,邱建荣,朱从善.飞秒激光烧蚀玻璃基质金属薄膜直写衍射光栅[J].中国激光,2006,33(1):17-20. 被引量：8
7张晓青,王飞鹏,黄金峰,夏钟福,安振连.多孔聚丙烯压电驻极体薄膜压电d_(33)系数的优化[J].仪器仪表学报,2006,27(z3):2481-2482.
8黎修祺.WS型氧化铝湿度计的性能及应用[J].科技通讯（上海）,1995,9(2):33-39.
9刘光裕.微水刀激光技术用于制造第4代OLED掩模版[J].光机电信息,2008(11):15-18.
10李文涛,齐海波,杨黎,林峰.电子束选区熔化技术的粉末预热系统设计[J].机械设计与制造,2007(11):113-115. 被引量：1

物理

1990年第8期

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