洁净保持箱洁净处理风速的分析

Analysis of cleanliness velocity for the cleanroom

在建立洁净保持箱结构模型的基础上,分析洁净处理的过程,提出风速是影响洁净保持箱洁净处理的重要参数之一,着重从控制尘源污染和满足气流均一性两个方面对洁净处理要求风速大小进行了分析计算,结果表明控制尘源污染要求风速大于等于0.25 m/s,满足气流均一性的最佳洁净处理风速约为0.25 m/s,最后结合计算和实验,确定洁净保持箱洁净处理方案在采用FFU产生的自上向下垂直流,最佳洁净处理风速为0.25 m/s。