多重拖动分子泵的原理,性能和应用

介绍一种新颖拖动分子泵的工作原理、性能及其应用。该泵结构简单，抽气流量和入口压强比涡轮分子泵高１００倍，抽速拉近涡轮分子泵，粘滞损耗比罗茨泵低得多。最后还讨论了新泵的发展趋势。