碳氮薄膜的结构分析

对不同沉积条件下沉积在硅基片上的纯碳薄膜、碳氮薄膜以及受不锈钢污染的碳氮薄膜的Ｘ射线衍射谱进行了比较分析，并结合晶态碳氮薄的Ｒａｍａｎ谱分析，认为在这几种工艺条件下是否已合成出β－Ｃ３Ｎ４尚特进一步研究。